洁净环境要求高
无尘车间对设备洁净度要求高,传统人工搬运存在污染风险。
高价值物料搬运稳定性要求高
晶圆、芯片等物料易损坏,对搬运精度、平稳度要求高。
柔性生产需求
半导体生产流程复杂,物料流转多,搬运需求灵活多变。
跨区协作
物料需跨楼层转运,联动电梯/风淋门
机器人融合VSLAM纹理识别与激光定位,搭配IOT梯控模块实现跨层自动化搬运,全程无尘封闭作业适用于洁净车间高精度、高稳定性搬运需求,确保半导体生产环境的高效、安全物流运作。
跨层自动化搬运
无尘封闭作业
确保高效、安全物流运作
高精度导航
双SLAM融合技术,实现毫米级路径规划,精准控制运行轨迹,确保搬运稳定性。
智能避障
视觉+激光感知环境,动态调整路径,确保安全搬运。
洁净车间适配
无接触自主充电、无需环境改造,满足无尘环境洁净要求。
IOT物联适配
支持与洁净室门控、升降台等智能设备联动,实现自动化搬运流程。